中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户

   作者:机械之家 日期:2022-02-08 08:45     建材之家    浏览:356    评论:0    
核心提示:中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户昨日,上海微电子举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式,据介绍,该光刻机主要应用于高密度异构集成领域,具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场等特点,可帮助晶圆级先进封装企业实现多芯片高密度互连封装技术的应用,满足异构集成超大芯片封装尺寸的应用需求。值得注意的是……
中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户

昨日,上海微电子举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式,据介绍,该光刻机主要应用于高密度异构集成领域,具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场等特点,可帮助晶圆级先进封装企业实现多芯片高密度互连封装技术的应用,满足异构集成超大芯片封装尺寸的应用需求。值得注意的是,上海微电子此次交付的是用于IC后道制造的“先进封装光刻机”,并非应用于IC前道制造的“光刻机”。

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